geïntegreerde schakeling

SS101Wafers-Niveau Verlening Machines   Voor ondervulling in wafervorm SS101 is een zeer stabiel en nauwkeurig waferniveau dispenseringssysteem dat is ontwikkeld op basis van de ondervullingsprocesvereisten van RDL First WLP. De apparatuur voldoet aan de behoeften van de halfgeleiderindustrie, kan voorzien worden van een automatisch waferladen en -laden en kan automatisch functies realiseren zoals waferbehandelingen,Lijning.Het is compatibel met internationale halfgeleidercommunicatieprotocollen.Het is voorzien van een automatische AMHS-interface voor het laden en lossen van de robot. de vereisten inzake informatiebeheer en de ontwikkelingen op het gebied van onbemand beheer.   SS101 System Layout   ¢ Loadport & Foup ️ Aligner ¢ QR-code scannerstation ️ Verwarmingsstation ¢warmteafvoerstation Werkstation van de GS600SWA-verspreidingsmachine “Robot Handling module     Samenstelling van SS101 waferniveau dispensersysteem GS600SW waferniveau dispenseringsmachine × 2 PC101 waferlaad- en losmachine × 1 Toepassingsgebieden RDL Eerste WLP Toepassing van CUF SS101 Operatie-stroom voor waferniveau-afgifte Kenmerken en voordelen Ondersteunt 8/12-inch wafer dispensing. Stofdichtheidsniveau 10, dat voldoet aan de milieueisen van verpakkingen op waferniveau. ESD-bescherming die voldoet aan de internationale IEC- en ANSI-normen. Tijdens het hele proces van omzet en werking van de wafers wordt de temperatuur nauwkeurig gecontroleerd en automatisch gecorrigeerd om aan de procesvereisten van de CUF te voldoen en tegelijkertijd de productveiligheid te waarborgen. De videobewaking van het gehele proces vergemakkelijkt de productomzet, het observeren van het bedrijfsproces en het opsporen en analyseren van problemen   Technische specificaties   SS101 systeem GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM) Toepassingsgebieden RDL Eerste WLP, CUF Toepassing Schoonheidsniveau Schoonheid van het werkgebied Klasse 100 (werkplaats van klasse 1000) Klasse 10 (werkplaats van klasse 100)     Producttoepassingsgebieden Ondersteuning voor de wafergrootte φ200 mm±0 0,5 mm, φ300 mm±0,5 mm (Standaardmodel ondersteunt alleen 12-inch wafers) Ondersteuning voor de dikte van de wafer 300-2550 μm Toegestane wafer max. warpage bereik < 5 mm (afhankelijk van het type robotvinger) Maximaal toelaatbaar gewicht van de wafer 600 g (afhankelijk van het type Robot Finger) Waferkassetvorm 8 inch Open Cassette, 12 inch Foup (Standard model ondersteunt alleen 12-inch wafers)     PC101 (EFEM) Laad- en losmethode Loadport+robots Precision Pre-Aligner Afwijking van de correctie van het ronde middelpunt≤±0,1 mm; afwijking van de correctie van de hoek≤±0,2 ° Waferlezer Ondersteunt SEMI-lettertypen (platte of concave/convexe oppervlakken), niet-SEMI-lettertypen Temperatuurbereik voorverwarming Kamertemperatuur ~ 180°C Waferkoelingsmethode Natuurlijke koeling of luchtkoeling     Bewegingssysteem Transmissie-mechanismen X/Y: lineaire motor Z: Servomotor en schroefmodule Herhaalbaarheid X/Y: ±3 μmZ: ±5 μm Positioneringsnauwkeurigheid X/Y: ±10 μm Max. bewegingssnelheid X/Y: 1000 mm/s Z: 500 mm/s Max. versnelde snelheid X/Y: 1 g Z: 0,5 g   Visie-systeem Kamerpixels 130 W Precies van de herkenning ± 1 pixel Herkenningsbereik 12 × 16 mm

GS600DD Volledig automatische dispenseringsmachine   Voor Dam & Fill De GS600DD vol-automatische dispenseringsmachine is een uitrusting met hoge stabiliteit en hoge precisie die is ontwikkeld op basis van de vereisten van het Dam & Fill-proces van FCBGA, enz.De apparatuur voldoet aan de behoeften van de halfgeleiderindustrieHet systeem is voorzien van een automatisch laad- en lossysteem en kan automatisch functies realiseren van het laden en lossen van magazijnen, dam-lijmstraal en ondervullingslijmstraal.Het is compatibel met internationale halfgeleidercommunicatieprotocollen., en voldoet aan de vereisten inzake informatiebeheer en de ontwikkelingen op het gebied van onbemand beheer.   Systeemcompositie GS600DD Volledig automatische dispenseringsmachine × 1 Automatische laad- en losmachine voor tijdschriften × 1   Operatie-stroom Laad van de voorraad - Damplijm-spraying-ondervulling lijm-spraying-laad van de voorraad   Kenmerken en voordelen Goede schokdemper met minerale frame structuur om effectief de impact veroorzaakt door high-speed apparatuur werking te verminderen. capacitieve detectie en laserinductie detectie om productverlies te voorkomen als gevolg van onvoldoende hoeveelheid lijm stofdichtheid van niveau 10, die voldoet aan de voorschriften voor de verpakkingsomgeving. Automatische compensatie van de plaats van afgifte om de afgifte nauwkeurig te waarborgen De ESD-bescherming voldoet aan de internationale IEC- en ANSI-normen. Functie voor het detecteren van de lijmbreedte om procesrisico's te voorkomen die worden veroorzaakt door een slechte afgifte. Technische specificaties   Model GS600DD Systeemcompositie GS600DD * 1,Magazine automatische laad- en losmachine * 1 Toepassingsgebieden FCBGA, Draadbinding Encapsulatie Schoonheidsniveau Schoonheid van het werkgebied Klasse 100 (klasse 1000 werkplaats) Klasse 10 (klasse 100 werkplaats) Vervoerstelsel Afmetingen 770 × 1650 × 2100 mm Vervoerstelsel X/Y:Lineaire motor Z:Servomotor en schroefmodule Herhaalbaarheid (3sigma) X/Y: ±5 μm Z: ±10 μm Positioneringsnauwkeurigheid (3 sigma) X/Y: ±10 μm Z: ±25 μm Max. bewegingssnelheid X/Y:1300mm/s Z: 500mm/s Max. versnelde snelheid X/Y:1.3g Z:0.5 g Distributiebereik 355 mm × 595 mm Resolutie van het rooster 1 μm Visuele repetitieve matching nauwkeurigheid 5 μm Genauigheid van de positie van de kleefstof in een enkel punt ≤ ± 30 μm Z-ashoogte kalibratie en compensatiemethode Lasersensor Lasersensornauwkeurigheid ± 1 μ m Z-asspek. Asynchrone dubbelkop Toepasselijk spuittype 5cc, 10cc, 30cc, 50cc, 70cc. Genauigheid van het lijmgewicht 10 mg±3%, 5 mg±5% Genauigheid van de weegmodule 220 g/0,1 mg Visie-module Pixel 500 W (2048×2448 dpi) Lens 0.2X telecentrische lens Kamerweergave 35 × 35 mm Eenpixel nauwkeurigheid 17um Detectie van de lijmbreedte ≥ 170um AOI FRR (cijfer van onjuiste beoordelingen) < 2,5% AOI FAR (missende detectiegraad) 0 Visuele positioneringsmethode Merk/product uiterlijk kenmerken Hoekcorrectievermogen van de secundaire klep ten opzichte van de hoofdklep 0-180° (7 × 7 mm Werkstuk) 0-3° (110×110 mm Werkstuk) Beschietingsmethode Positioneringsschot/vliegschot Faciliteiten Omgevingstemperatuur en luchtvochtigheid 25°C ± 5°C, 30 ~ 70% Voetafdruk W × D × H 770×1650×2100 mm (met/zonder laden en lossen)    

GS600SU Ondervulling Verwijderverzamelen Machines voor de vorm die onder het formulier is ingevuld   GS600 SU is een automatisch online dispensersysteem met hoge snelheid en precisie dat is ontwikkeld op basis van de vereisten van het Underfill-proces van FCBGA/FCCSP. Het systeem controleert strikt de product- en kleeftemperatuur en sorteert op intelligente wijze de productoperatiesequentie en de lijmopvultijd.het verminderen van de generatie van leegtes en het garanderen van de bedrijfsopbrengstOndertussen is het compatibel met internationale halfgeleidercommunicatieprotocollen en voldoet het aan de vereisten voor informatiebeheer.   ■Toepassingsgebieden FCBGA Packaging CUF Toepassing FCCSP Packaging CUF Toepassing SiP Packaging CUF Toepassing   ■ Technische specificaties Toepassingsgebieden FCBGA, FCCSP, SIP Toepasselijk proces Ondervullen van de vorm Schoonheidsniveau Schoonheid van het werkgebied Klasse 100 (werkplaats van klasse 1000) Klasse 10 (werkplaats van klasse 100)         Transmissie Mechanisme Vervoerstelsel X/Y:Lineaire motor Z: Servomotor en schroefmodule Herhaalbaarheid (3sigma) X/Y: ±0,003 mm, Z: ±0,005 mm Positioneringsnauwkeurigheid (3 sigma) X/Y: ± 0,010 mm, Z: ± 0,015 mm Max. bewegingssnelheid X/Y: 1000 mm/s Z: 500 mm/s Max. versnelde snelheid X/Y: 1 g, Z: 0,5 g Resolutie van het rooster 1 μm Z-asbewegingsbereik ((W × D) 3 5 0 mm × 4 7 0 mm Kalibratie en compensatie van de hoogte van de Z-as Lasersensor (Laser sensor) Lasersensornauwkeurigheid 2 μm           Verspreidingssysteem Precisiteit van de controle van de lijm ± 3 % / 1 mg Eenvoudige puntpositie herhaalbaarheid CPK>1.0 ± 25 μm Min. diameter van het spuitstuk 30 μm Min. gewicht van de kleefstof met één punt 0.001 mg/punt Max. vloeistofviscositeit 200000cps Max. straalfrequentie 1000 Hz Verwarmingstemperatuur van de loop/nozzle Kamertemperatuur ~ 200°C Afwijking van de verwarmingstemperatuur van de loop/nozzle ± 2 °C Toepasselijke specificaties voor de verpakking van kleefstoffen. 5CC/10CC/30CC/50CC/70CC Koelbereik van de spuit Koelt af tot 15°C onder de omgevingstemperatuur. Piezo-koelbereik Koelt af tot de perslucht temperatuur.             Spoorsysteem Aantal sporen 2 Aantal gordelstukken Eén stuk. Max. snelheid van het spoor 300 mm/s Max. gewicht van het stuur van het spoor 3 kg Minimumrandvrijheid 3 mm Bereik voor het instellen van de spoorbreedte 60 mm tot 162 mm Verstelbaar Metode voor het aanpassen van de spoorbreedte Handleiding Spoorhoogte 910 mm~960 mm Verstelbaar Max. dikte van het toepasselijke substraat/drager 6 mm Toepasselijk ondergrond/drager lengtebereik 60 mm-325 mm Vacuümzuigdrukbereik -50~-80Kpa Verstelbaar Temperatuurbereik van de onderverwarming Kamertemperatuur ~ 180°C Afwijking van de onderwarmtemperatuur ≤ ± 1,5 °C       Faciliteiten Voetafdruk W × D × H 2380mm*1550mm*2080mm ((laden en lossen en display inbegrepen) 2380mm*1200mm*2080mm ((Inbegrepen laden en lossen, exclusief scherm) Gewicht 1600 kg Stroomvoorziening 200~240VAC,47~63HZ (Eenfasige adaptie van de spanning) Elektrische stroom 30A Kracht 6.4 kW Inademing (0,5Mpa, 450L/min) ×2   FCBGA Packaging CUF Toepassing FCCSP Verpakking CUF Toepassing Toepassing van SiP Packaging CUF Speciale procesmodules CUF speciaal piezo-elektrisch jetsysteemKleefisolatie + piezo-elektrische keramische temperatuurcontrole in gesloten kring om instabiliteit van het systeem veroorzaakt door temperatuurinvloed te voorkomen Drievoudig laag niveau alarmCapacitieve detectie + magnetische detectie + systemen voor het wegen om slechte werking door gebrek aan lijm te voorkomen VacuümadsorptieverwarmingsinstallatieHet temperatuurverschil van het gehele oppervlak van de armature is ≤ ± 1,5°C.en de temperatuur wordt in realtime gecontroleerd en gecompenseerd om slechte werking te voorkomen die wordt veroorzaakt door producttemperatuurverschillen tijdens het gebruik Druk op het spoorDe vacuümadsorptieverbinding blijft altijd stil staan en het spoor beweegt omhoog en omlaag om een slechte werking te voorkomen die wordt veroorzaakt door verlies van vlakheid tijdens de wisselbeweging van de vacuümadsorptieverbinding. Systemen voor het laden en lossen van platformenDe voedingssequentie wordt automatisch gesorteerd en de operatie wordt binnen de plasma-tijdslimiet voltooid.Vriendelijk ontwerp van de mens-machine-interface Visueel systeemPositionerings- en detectiefunctiesInspectie vóór gebruik om defecte inkomende materialen te voorkomenControle na gebruik om defecten van de partij te voorkomen    

SS200 Deksel Aanhangsel Systemen   Het is een zeer stabiel en nauwkeurig deksel bevestigingssysteem ontwikkeld op basis van de Lid Attach-procesvereisten van FCBGA/FCCSP. Integratie van de functies van automatisch laden en lossen, uitdelen, deksel bevestigen, Snapcure, en uitdelen en bevestiging inspectie,het systeem kan automatisch functies realiseren, waaronder automatisch laden en lossen van ondergronden en deksels, automatische AD & Tim lijmcoating, lijmvorm detectie, deksel bevestiging en bevestigingsresultaat detectie, en deksel drukhoudend en pre-harding.Het is compatibel met internationale halfgeleidercommunicatieprotocollen., en voldoet aan de relevante eisen van geautomatiseerde productielijnen.   Samenstelling van volledig automatisch bedieningssysteem   ¢ laadmachine KLM201 ¢ GS600SD dispenseringsmachine ¢ MP200 warmpersmachine KUM2 0 1 losmachine * De machines van dit systeem zijn modulair ontworpen. * De volgorde of hoeveelheid van de dispenseringsmachine, montage de machine en de warmpersmachine kunnen worden ingesteld volgens de vereisten van de procesvolgorde en de efficiëntieverhouding.   Kenmerken en voordelen Goede schokdemper met minerale frame structuur om effectief de impact veroorzaakt door hoge snelheid te verminderen. ESD-bescherming die voldoet aan de internationale IEC- en ANSI-normen. Automatische verdelingspositie compensatie functie om de verdeling nauwkeurigheid te garanderen. Modulaire opzet van de gehele machine, en dispensatie-operatie met ondersteuning van dubbele klep synchronisatie met interpolatie/dubbele klep asynchronisatie. Stofdichtheid van niveau 10, die voldoet aan de eisen van de geavanceerde verpakkingsindustrie. Functie voor het detecteren van de lijmbreedte om procesrisico's te voorkomen die worden veroorzaakt door een slechte afgifte. Bijbehorende inspectiefunctie om na voltooiing van elke procesfase de kwaliteit van het product te waarborgen. Plattform-type laadsysteem voor continue werking van meerdere magazijnen.   SS200 Toepassingsvelden Toepassingsgebieden FCBGA / FCCSP Lid Attach Application (inclusief AD-lijm, Tim-lijm, Lid Attach, Snapcure) Geschikte PKG-grootte 5 mm × 5 mm- 110 mm × 110 mm Max. boot grootte. L × W ≤ 325 mm × 162 mm Max, de boot is klaar. 3 kg (met inbegrip van het productgewicht) Max. L × W × H≤ 330 mm × 165 mm × 180 mm Dekselbakgrootte L × W ≤ 3 1 6 mm × 135 mm Metode voor het laden van het deksel Magasin, lading in bak (standaard); voeding met gordel ((optioneel)); buis/zachte bak (aanpasbaar)   SS200 Openbare voorzieningen Omgevingstemperatuur en luchtvochtigheid 25°C±5°C, 30 ~ 70% Voetafdruk W × D × H 5870 mm × 1650 mm × 2100 mm Gewicht van het systeem 5.8T Stroomvoorziening 200~240VAC,47~63HZ,Eenfasige adaptieve spanningsbron Elektrische stroom 81A Kracht 18 kW Inademing 1770L/min   KLM/KUM201 laad- en losmodul KLM/ KUM201Loader & Unloader Grootte 1 2 0 0 mm × 6 1 5 mm × 2 0 14 mm FM Schoonmaak en quarantaine Ionenluchtgordijn douche bij de ingang Boot Qty. 3 stuks Laadwijze Type platform Herhaalbaarheid (3 sigma) Z/Y: < 0,05 mm Max. bewegingssnelheid. Z/Y: 300 mm/s Max. versnelde snelheid. Z/Y: 3000 mm/s2     Productbescherming 1.In normale bedrijfsomstandigheden/tijdelijke stroomstoring van de machine blijft de bewegingsas op zijn plaats om te voorkomen dat het product valt 2. Uitgerust met verschillende kleuren lichten die de status van de bak visualiseren 3. In staat om te detecteren bak uitsteekt uit de boot en dan stoppen en alarm 4. In staat om te detecteren en alarm voor materiaal jamming 5. In staat om te detecteren en alarm voor abnormale werking positie van het dienblad